Az EUV-technológia segítségével a félvezetők gyártására szakosodott cégek 0,1 mikrométernél (azaz 10-7 méternél) vékonyabb áramköri vonalakat képesek felvinni az áramköri lapokra, és ezáltal a korábbinál magasabb teljesítményszintű mikroprocesszorokat, illetve nagyobb sűrűségű memórialapkákat tudnak előállítani. Az EUV-technológiára épülő processzorok működési sebessége négy-öt éven belül akár a 10 GHz-es tartományt is elérheti.

Mostani bejelentésével az IBM az Intel Corporation, az Advanced Micro Devices, a Motorola, a Micron Technology és az Infineon Technologies által létrehozott technológiai konzorciumhoz csatlakozott. A fenti vállalatok a Lawrence Livermore National Laboratory, a Sandia National Laboratories és az E.O. Lawrence Berkeley National Laboratory alkotta Virtual National Laboratory tagjaival karöltve kezdték meg a számítógépes chipek képességeinek javítását célzó EUV litográfiai technológia megalkotását.