Prim Hírek

Akkreditált intézménnyé vált az MTA Műszaki Fizikai és Anyagtudományi Kutatóintézet Fotonika Osztályának részeként működő Ellipszometriai Laboratórium. Az itt folyó érintésmentes és nem szennyező vizsgálatok napjainkban nélkülözhetetlen módszerek a félvezetőiparban, a szenzorikában, valamint a vékonyréteg- és napelem-technológiában. Az ellipszometria módszerével vékonyrétegek törésmutatóját, rétegvastagságát és szerkezetét lehet meghatározni. Az ellipszometria a miniatürizáció, a mikro- és nanotechnológia korában óriási hozzáadott értéket és fejlődési lehetőséget jelent az ipar számára is. Mivel az ellipszometria a nagyon vékony, mikrométer, sőt nanométer alatti vastagságú rétegek vizsgálatának egyik igen fontos eszköze, alkalmazási területei közé tartozik a napelem-technológia, a mikro-, ill. nanoelektronika, de a szenzorok érzékelő vékonyrétegeinek fejlesztése és minősítése is.

A laboratórium elsődleges célja az EU 6. keretprogramban indult ANNA projekt (European Integrated Activity of Excellence and Networking for Nano and Micro-Electronics Analysis) partnereivel közösen egy nemzetközi laboratórium létrehozása és működtetése az európai kutatói közösség számára, mely az akkreditációval válik teljessé. A szabványosítás, a programban részt vevő laboratóriumok hálózatosítása mellett közös kutatásokkal is elősegíti a partnerek összecsiszolódását. Az egyes nemzeti laboratóriumok hálózatba szerveződve, virtuálisan egyetlen egységes laboratóriumként jelennek meg a felhasználók számára. Az ANNA projekt legfőbb célja ezen hálózat kialakítása és működtetése.

Az MFA Ellipszometriai Laboratóriumának tevékenysége csaknem 30 évet felölelve az 1980-as évek elejére nyúlik vissza, amikor Dr. Lohner Tivadar elkezdte az ionimplantált egykristályos szilíciumban létrehozott roncsoltság optikai vizsgálatát. Az utóbbi tíz évben az MFA kutatói a felületi struktúrák vizsgálatával és optikai modellezésével, újabban pedig bioellipszometriával kezdtek el foglalkozni. Az Ellipszometria Laborban eddig négy PhD és egy MTA doktori disszertáció született. Az itt dolgozó kutatóknak összesen mintegy 160 cikke és 3 könyvfejezete jelent meg, valamint részt vettek számos hazai és nemzetközi projektben. A labor társszervezője volt a 3. Nemzetközi Ellipszometriai Konferenciának. Számos saját készítésű és gyári ellipszométer mellett az akkreditált labor alapkészüléke egy Woollam M2000DI típusú automatikus forgókompenzátoros spektroszkópiai berendezés, mely rendkívül gyorsan képes a rétegvastagság és -szerkezet helyfüggő meghatározására.